Ultrarein 10-18 kW PTFE-Nassflächen Inline chemische Flüssigkeitsheizung für Halbleiter

Übersicht

PFA/PTFE-Linienheizgeräte sind für Fluorwasserstoffsäure (HF), Kaliumhydroxid (KOH) und andere mit PFA kompatible Chemikalien ausgelegt.

Diese PFA-Heizgeräte bringen weit verbreitete hochreine Materialien in extreme Betriebsbedingungen und maximieren gleichzeitig Leistung und Zuverlässigkeit.

Wir haben die Erwärmung von hochreinen Flüssigkeiten erneut auf ein neues Niveau der Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit gehoben.

Wir haben die Erwärmung von hochreinen Flüssigkeiten erneut auf ein neues Niveau der Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit gehoben.Das Erhitzen von Flüssigkeiten mit hochreinen Materialien in einer rauen Umgebung erfordert besondere Fähigkeiten und Kenntnisse, die nur durch Erfahrung gewonnen werden könnenSeit über 40 Jahren verfeinern und verbessern unsere Ingenieure das erhitzte Quarzbad und verstehen die kritischen Bedürfnisse der Halbleiterindustrie und verwandter Industrien.Die Summe dieses Wissens wurde in die PFA-Linienheizung integriert, um Produkte zu entwickeln, die nicht nur, aber auch Installation und Wartung vereinfachen.Unsere Hingabe an die Herstellungsprozesskontrolle stellt sicher, dass unsere Kunden gleichmäßig hochwertige Produkte rechtzeitig erhalten.Wir bieten eine breite Palette von Standard- und Custom-Modellen an, die eine einfache Integration in nahezu jede Anwendung ermöglichen.

Eigenschaften

• Keine O-Ring-Dichtungen
• Alle befeuchteten Oberflächen sind hochreine PFA
• PTFE-Gehäuse für die doppelte Einschließung
• Maximale Wattdichte für die Leistung
• Leichtbau
• Kleine Fußabdrücke durch einzigartiges Design
• Null Wartungsbedarf
• PFA-Flüssigkeitsweg, breite chemische Kompatibilität
• Hochtemperaturfähigkeit 200°C+

 

Spezifikationen

Heizgerät	PTFE-Linienchemikalienheizung
Wattmengen	10,5-12 kW
Prozesschemie	Verdünnte Hydrofluorsäuren (DHF), Fluorwasserstoffe (BHF), Buffered Oxide Etch (BOE), alkalische Chemikalien (TMAH, KOH, NAOH), Fluorierte Lösungsmittel, Fluorwasserstoffsäure, Glycol und vieles mehr.
Maximale Betriebstemperatur	180°C (Beratungsfabrik) für höhere Temperaturen)
Maximaler Druck	40 psi bei 180°C
Spannungen	200 bis 400 VAC, Ein- oder Dreiphasen Modellabhängig

 

 

Industrie

• Herstellung von Halbleitern
• Herstellung von Solarzellen
• Flachbildschirm, LEDs und Elektronik
• Chemische Erzeugnisse
• Industrieerzeugung

 

 

Anwendungen

Heizung mit brennbaren Lösungsmitteln
Produkte, die zur sicheren Erwärmung von IPA und Lösungsmitteln mit niedrigem Blitzpunkt entwickelt wurden und die strengsten Reinigungsanforderungen erfüllen, um die Technologien für Halbleiterknoten der nächsten Generation zu unterstützen.

 

Produkte fürHeizung mit brennbaren Lösungsmitteln
PFA-Linienchemieheizung	PTFE-Linienchemikalienheizung	Inline-chemische Heizung