Leistung von unübertroffenen Halbleiterprozessen Flüssigkeitsheizung Chemische Heizung

Übersicht

PFA-Linienheizgeräte sind für Fluorwasserstoffsäure (HF), Kaliumhydroxid (KOH) und andere mit PFA kompatible Chemikalien ausgelegt.

Diese PFA-Heizgeräte bringen weit verbreitete hochreine Materialien in extreme Betriebsbedingungen und maximieren gleichzeitig Leistung und Zuverlässigkeit.

Wir haben die Erwärmung von hochreinen Flüssigkeiten erneut auf ein neues Niveau der Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit gehoben.

Wir haben die Erwärmung von hochreinen Flüssigkeiten erneut auf ein neues Niveau der Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit gehoben.Das Erhitzen von Flüssigkeiten mit hochreinen Materialien in einer rauen Umgebung erfordert besondere Fähigkeiten und Kenntnisse, die nur durch Erfahrung gewonnen werden könnenSeit über 40 Jahren verfeinern und verbessern unsere Ingenieure das erhitzte Quarzbad und verstehen die kritischen Bedürfnisse der Halbleiterindustrie und verwandter Industrien.Die Summe dieses Wissens wurde in die PFA-Linienheizung integriert, um Produkte zu entwickeln, die nicht nur, aber auch Installation und Wartung vereinfachen.Unsere Hingabe an die Herstellungsprozesskontrolle stellt sicher, dass unsere Kunden gleichmäßig hochwertige Produkte rechtzeitig erhalten.Wir bieten eine breite Palette von Standard- und Custom-Modellen an, die eine einfache Integration in nahezu jede Anwendung ermöglichen.

• Schwergewichtsvorgeformtes Inconel-Element kann hohen Belastungsbedingungen standhalten, ohne abzubauen
• Der Leistungsmodulator überwacht die Temperatur des Heizkörpers und verhindert die Wärmeansammlung im Gehäuse
• Das versiegelte Gehäuse verhindert, dass Chemikalien interne Komponenten angreifen und bietet eine sekundäre Eindämmung.
• Der interne Leckerkennungsstreifen (erfordert einen externen Monitor) ermöglicht eine frühzeitige Erkennung chemischer Lecks
• Alle Leitungen mit Teflon-Leitung geschützt, um chemische Angriffe zu verhindern
• Konstruktion der indirekten Heizung, keine Unterwasserheizungselemente
• Keine N2- oder Gasreinigung erforderlich

Eigenschaften

• Keine O-Ring-Dichtungen
• Alle befeuchteten Oberflächen sind hochreine PFA
• PTFE-Gehäuse für die doppelte Einschließung
• Maximale Wattdichte für die Leistung
• Leichtbau
• Kleine Fußabdrücke durch einzigartiges Design
• Null Wartungsbedarf
• PFA-Flüssigkeitsweg, breite chemische Kompatibilität
• Hochtemperaturfähigkeit 200°C+

 

Spezifikationen

Heizgerät	PFA-Linienchemieheizung
Wattmengen	10,5-12 kW
Prozesschemie	Verdünnte Hydrofluorsäuren (DHF), Fluorwasserstoffe (BHF), Buffered Oxide Etch (BOE), alkalische Chemikalien (TMAH, KOH, NAOH), Fluorierte Lösungsmittel, Fluorwasserstoffsäure, Glycol und vieles mehr.
Maximale Betriebstemperatur	180°C (Beratungsfabrik) für höhere Temperaturen)
Maximaler Druck	40 psi bei 180°C
Spannungen	200 bis 400 VAC, Ein- oder Dreiphasen Modellabhängig

 

 

Industrie

 

• Herstellung von Halbleitern
• Herstellung von Solarzellen
• Flachbildschirm, LEDs und Elektronik
• Chemische Erzeugnisse
• Industrieerzeugung

Anwendungen

Anodisierung
Die Anodisierung ist ein elektrochemischer Prozess, bei dem eine Metalloberfläche in eine Oxidschicht umgewandelt wird.kann auch anodisiert werdenDas Metallteil wird als Anode verbunden und in ein säurehaltiges Elektrolytbad eingetaucht, in dem ein elektrischer Strom angewendet wird, um die Oxidschicht aus dem Stück zu wachsen.Die daraus resultierende Oberflächenveredelung wird funktionelle Eigenschaften wie Korrosionsbeständigkeit und Langlebigkeit bietenÜberschüssige Heizungen liefern schöne, präzise Oberflächen, überschüssige Stromversorgungen liefern hohen Strom, hohe Genauigkeit,und hohe Energieeffizienz, um den Anforderungen eines modernen Anodisierungsprozesses gerecht zu werden.

 

Produkte fürAnodisierung
MOTS SINGLE ¥ BÖTTEN, DERATED Verringerte, geringe Wattdichte, L-förmig, Boden, Metall über der Seite Immersionsheizung. Ein- oder Dreiphasen. Drei Phasen. 500-6000 Watt, 120-480 Volt. .	MOTS Dreifach L-förmig L-förmige, unteren Metall über der Seitenheizung. Drei Phasen. Ein- oder Drei-Phasen. 3000-36000 Watt, 200-600 Volt.	6HS-Serie TUBULAR Auf der Seite, 6-Element, Rohrheizung, dreiphasig, 6000-21000 Watt, 208-600 Volt.
MOTS TRIPLE Deep Tank Tiefer Tank, Metall über der Seitenheizung. Drei-Phase. Erhitzt bis zu 149 °C. Ein- oder Drei-Phase. 18000-54000 Watt, 208-600 Volt.	MOTS TRIPLE Deep Tank Tiefer Tank, Metall über der Seitenheizung. Drei-Phase. Erhitzt bis zu 149 °C. Ein- oder Drei-Phase. 18000-54000 Watt, 208-600 Volt.	G (GRID) SERIES COIL Effiziente horizontale, vertikale und L-förmige Eintauchspulen für größere Tanks.
9HX-Serie Niedrige Wattdichte, 9-Element-Fluorpolymer (PTFE) mit 304 rostfreien Elementen, inert gegenüber den meisten Lösungen.	6HX-Serie Niedrige Wattdichte, 6-Element-Fluorpolymer (PTFE) mit 304 rostfreien Elementen, inert gegenüber den meisten Lösungen.	3HXOL-Serie Niedrige Wattdichte, 3 Elemente, Bodenheizung. Fluorpolymer (PTFE) mit 304 rostfreien Elementen inert für die meisten Lösungen. 3000-18000 Watt, 208-480 Volt.
HXF-Serie Niedrige Wattdichte, Spiralheizung. Fluorpolymer (PTFE) mit 304 rostfreien Elementen, inert gegenüber den meisten Lösungen. 500-6000 Watt, 120-600 Volt.	HX-Serie Niedrige Wattdichte, spiralförmig. Fluorpolymer (PTFE) mit 304 rostfreien Elementen, die in der Mehrzahl der Lösungen inert sind.	3HX-Serie Niedrige Wattdichte, 3-Element-Heizung. Fluorpolymer (PTFE) mit 304 rostfreien Elementen, inert gegenüber den meisten Lösungen. Drei Phasen. 1000-6000 Watt, 120-600 Volt.