400V 1P 6KW PFA Gehäuse Halbleiter Inline Chemische Heizung für Siconnex Etch Hood

Übersicht

PFA-Linienheizgeräte sind für Fluorwasserstoffsäure (HF), Kaliumhydroxid (KOH) und andere mit PFA kompatible Chemikalien ausgelegt.

Diese PFA-Heizgeräte bringen weit verbreitete hochreine Materialien in extreme Betriebsbedingungen und maximieren gleichzeitig Leistung und Zuverlässigkeit.

Wir haben die Erwärmung von hochreinen Flüssigkeiten erneut auf ein neues Niveau der Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit gehoben.

Wir haben die Erwärmung von hochreinen Flüssigkeiten erneut auf ein neues Niveau der Leistungsfähigkeit und Zuverlässigkeit gehoben.Das Erhitzen von Flüssigkeiten mit hochreinen Materialien in einer rauen Umgebung erfordert besondere Fähigkeiten und Kenntnisse, die nur durch Erfahrung gewonnen werden könnenSeit über 40 Jahren verfeinern und verbessern unsere Ingenieure das erhitzte Quarzbad und verstehen die kritischen Bedürfnisse der Halbleiterindustrie und verwandter Industrien.Die Summe dieses Wissens wurde in die PFA-Linienheizung integriert, um Produkte zu entwickeln, die nicht nur, aber auch Installation und Wartung vereinfachen.Unsere Hingabe an die Herstellungsprozesskontrolle stellt sicher, dass unsere Kunden gleichmäßig hochwertige Produkte rechtzeitig erhalten.Wir bieten eine breite Palette von Standard- und Custom-Modellen an, die eine einfache Integration in nahezu jede Anwendung ermöglichen.

• Schwergewichtsvorgeformtes Inconel-Element kann hohen Belastungsbedingungen standhalten, ohne abzubauen
• Der Leistungsmodulator überwacht die Temperatur des Heizkörpers und verhindert die Wärmeansammlung im Gehäuse
• Das versiegelte Gehäuse verhindert, dass Chemikalien interne Komponenten angreifen und bietet eine sekundäre Eindämmung.
• Der interne Leckerkennungsstreifen (erfordert einen externen Monitor) ermöglicht eine frühzeitige Erkennung chemischer Lecks
• Alle Leitungen mit Teflon-Leitung geschützt, um chemische Angriffe zu verhindern
• Konstruktion der indirekten Heizung, keine Unterwasserheizungselemente
• Keine N2- oder Gasreinigung erforderlich

Eigenschaften

• Keine O-Ring-Dichtungen
• Alle befeuchteten Oberflächen sind hochreine PFA
• PTFE-Gehäuse für die doppelte Einschließung
• Maximale Wattdichte für die Leistung
• Leichtbau
• Kleine Fußabdrücke durch einzigartiges Design
• Null Wartungsbedarf
• PFA-Flüssigkeitsweg, breite chemische Kompatibilität
• Hochtemperaturfähigkeit 200°C+

 

Spezifikationen

Heizgerät	PFA-Linienchemieheizung
Wattmengen	10,5-12 kW
Prozesschemie	Verdünnte Hydrofluorsäuren (DHF), Fluorwasserstoffe (BHF), Buffered Oxide Etch (BOE), alkalische Chemikalien (TMAH, KOH, NAOH), Fluorierte Lösungsmittel, Fluorwasserstoffsäure, Glycol und vieles mehr.
Maximale Betriebstemperatur	180°C (Beratungsfabrik) für höhere Temperaturen)
Maximaler Druck	40 psi bei 180°C
Spannungen	200 bis 400 VAC, Ein- oder Dreiphasen Modellabhängig

 

 

Anwendungen

Elektrochemische Ablagerung

Elektrochemische Ablagerung ist ein kostengünstiger Prozess, bei dem Oxidation und Reduktion verwendet werden, um Metall mit Elektrizität an eine Oberfläche zu kleben.Überschüssige Produkte liefern eine volle Leistung der Stromversorgung, hohe Effizienz, Hochgeschwindigkeits-Gleichstromleistung, Konnektivität, Zuverlässigkeit und ETL-Zertifizierung.

 

Elektrochemische Ablagerung Produkte ((1)
B-Serie KLEINER ZERK Kleines Metall über der Seitenheizung. Ausgezeichnet für Labor- und kleine Tankanwendungen. Erhitzt bis zu 149 °C. Einphasige. 500-1500 Watt, 120-240 Volt.	3HS-Serie TUBULAR Auf der Seite, 3-Element, Rohrheizung, 3-Phase, 3-Phase, 3000 bis 10500 Watt, 208 bis 600 Volt.	MOTS SINGLE ¥ DERATED Niedrige Wattdichte, Metall über der Seitenheizung, ein- oder dreiphasig, 500-6000 Watt, 120-600 Volt.
HXF-Serie Niedrige Wattdichte, Spiralheizung. Fluorpolymer (PTFE) mit 304 rostfreien Elementen, inert gegenüber den meisten Lösungen. 500-6000 Watt, 120-600 Volt.	FLS-ERIE FLANGE-Heizung Metallflanschheizung, 3", 5" und 6" Flanschgrößen. 3000-72000 Watt, 208-600 Volt.	U-Serie Spulen Metall-Immersionsspule in U-Form für die chemische Erwärmung oder Kühlung, die eine minimale Erholungszeit erfordert.